氦气压缩机是低温泵体系或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。主要使用于半导体前道制程设备的蒸腾、溅射和离子注入的真空体系，同时在地理、航天、医疗等领域也有广泛的使用。氦气压缩机能够驱动不同尺寸的低温泵,按照法兰的口径分成：8英寸、10英寸和16英寸，也能够用于不同制造商生产的低温泵。那么关于其保养也是非常重要的，下面大家一起来进行了解下吧。

　　1、每天保养。查看油位，查看空滤芯和冷却剂液位，查看软管和所有管接头是否有走漏状况，查看易耗件现已到了替换周期有必要停机予以替换，查看主机排气温度，到达或挨近98℃，有必要清洗油冷却器查看分离器压差，到达0.6 Bar以上或压差开始有下降趋势时应停机替换分离芯等。

　　2、每月保养。查看冷却器，必要时予以清洗，查看所有电线衔接状况并予以紧固，查看交流接触器触头，清洁电机吸风口表面和壳体表面的灰尘，清洗回油过滤器，查看空气压缩机设定与运转是否共同。

　　3、每季度保养。清洁主电机和电扇电机，替换油过滤芯，清洁冷却器，检小压力阀、安全阀，查看传感器。

　　4、每年保养。替换润滑油及油气分离器滤芯，替换空气过滤器滤芯，油过滤器，安全阀校准，查看弹性联轴器，查看冷却电扇，清洗主动排污阀，弥补或替换电动机润滑油脂。