氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。首要使用于半导体前道制程设备的蒸腾、溅射和离子注入的真空系统，同时在地舆、航天、医疗等领域也有广泛的使用。氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温泵,依照法兰的口径分成：8英寸、10英寸和16英寸，也可以用于不同制造商生产的低温泵。那么关于其保养也是比较重要的，下面我们一起来进行了解下吧。

　　1、每天保养。检查油位，检查空滤芯和冷却剂液位，检查软管和一切管接头是否有泄露状况，检查易耗件现已到了替换周期有必要停机予以替换，检查主机排气温度，抵达或挨近98℃，有必要清洗油冷却器检查分离器压差，抵达0.6 Bar以上或压差开端有下降趋势时应停机替换分离芯等。

　　2、每月保养。检查冷却器，必要时予以清洗，检查一切电线衔接状况并予以紧固，检查交流接触器触头，清洁电机吸风口外表和壳体外表的尘埃，清洗回油过滤器，检查空气压缩机设定与运转是否共同。

　　3、每季度保养。清洁主电机和电扇电机，替换油过滤芯，清洁冷却器，检小压力阀、安全阀，检查传感器。

　　4、每年保养。替换润滑油及油气分离器滤芯，替换空气过滤器滤芯，油过滤器，安全阀校准，检查弹性联轴器，检查冷却电扇，清洗自动排污阀，弥补或替换电动机润滑油脂。