氦气压缩机是低温泵体系或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。氦气压缩机主要使用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空体系，一起在天文、航天、医疗等领域也有广泛的使用。氦气压缩机能够驱动不同尺度的低温泵,依照法兰的口径分成：8英寸、10英寸和16英寸。氦气压缩机也能够用于不同制造商出产的低温泵。
　　氦气压缩机高压活塞式压缩机有不正常的响声:
　　当高压压缩机若某些件发生故障时，将会宣布异常的响声，一般来讲，操作人员是能够判别出异常的响声的。活塞与缸盖间隙过小，直接撞击；活塞杆与活塞连接螺帽松动或脱扣，活塞端面丝堵桧，活塞向上串动磕碰气缸盖，气缸中掉入金属碎片以及气缸中积累水份等均可在气缸内宣布敲击声。曲轴箱内曲轴瓦螺栓、螺帽、连杆螺栓、十字头螺栓松动、脱扣、折断等，轴径磨损严重间隙增大，十字头销与衬套配合间隙过大或磨损严重等等均可在曲轴箱内宣布撞击声。排气阀片折断，阀弹簧松软或损坏，负荷调节器调得不妥等等均可在阀腔内宣布敲击声。
　　目前氦气压缩机广泛用于石油化工、精细化工、医药化工、动力化工、机械工业、电子工业、农业、畜牧业和国防工业。氦气压缩机,进气压力可为常压或带压,排气压力可从0.1~30Mpa;排气量可从10~20000 Nm3/h中,进气压力、排气压力和排气量,均可允上下动摇变化;压缩级数可为1~5级。