氦气压缩机是低温泵体系或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温泵,按照法兰的口径分成：8英寸、10英寸和16英寸，主要使用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空体系，同时在天文、航天、医疗等领域也有广泛的使用。

　　氦气压缩机在运转中，假如保护不当，容易产生排气体系着火爆破、轴瓦十字头滑道烧死以及活塞和活塞环“抱缸”。为了避免这类事端产生，需采取以下办法：

　　1.选用积炭倾向小、抗氧化性能强的压缩机润滑油；更换润滑油时必须将机内旧油清干净，运转中对压缩机供油量不能过大，以避免油的快速变质和高温排气中的油分增大。

　　2.设置并检查空气压缩机的油压、水压、各级排气温度和主轴承温度的主动报警、主动保护、停机的监控体系，确保正常运转。

　　3.定时除排气体系的气阀、阀腔、管道与中心冷却器等的油污和积炭堆积物，对排气温度高于1601的空压机必须在运转2000h后，清洗一次排气阀；运转4000h后，对管道等进行一次整理。

　　氦气压缩机排气量调理的减荷运转工况延续时刻应尽量缩短，及时更换有走漏的吸、排气阀和活塞环，以避免高温气体被反复压缩而酿成着火爆破事端。